塑料及玻璃微纳产品及技术
Plastic and Glass Micro Nano Products and Technologies
成果简介（300-500字）
本项目技术能够在微米甚至纳米尺度上加工高精度的阵列结构，确保每个微结构的尺寸、形状、间距高度一致。这种高分辨率的特性特别适用于需要精密控制图案尺寸和空间分布的应用领域，
在制造DNA或蛋白质微阵列时，本技术能够保证每个探针位点的精确定位和大小一致性，以提高生物检测的灵敏度和特异性。本技术可以将微透镜、微反射器等功能单元排列在小型化器件表面，提高器件的光学性能和集成度。在集成电路和MEMS（微机电系统）器件的制造中，本技术可以与硅基工艺结合，制造出具备机械、电子和光学功能的集成系统。本技术可以应用于多种不同的材料，包括金属、半导体、聚合物、玻璃等，能够在这些不同的基底上实现精确的微结构制造。这种材料适应性使得本技术能够应用于广泛的行业，如微电子、生物医学和光学器件制造。
技术创新
微结构精度高，成本低，产品特征尺寸小。
专利情况
申请号（授权号）：ZL 202010884942.6，ZL 202010884952.X，ZL 202010893909.X
市场前景及应用领域
广泛应用于生物医学、电子、光学等高科技领域
合作方式：面谈
成果单位：深圳大学机电与控制工程
成果负责人：马将
联系人：技术转化中心
联系方式：26536230
科研概况