成果简介（300-500字）
该研产品在国内具有首创性，采用直线电机与旋转电机相结合的设计方案，结构更加紧凑，产品与现有产品相比具有高速高精高扭矩密度的特点，优化产品结构，产品的性能和工艺制造都具有突破性意义；电机在半导体设备中应用广泛，市场前景越来越大，具有很高的经济价值；作为我国智能装备核心零部件，可以提升产品的竞争力，提高科技创新价值。
直线旋转电机
直线旋转电机控制系统
技术创新：一体式高精度直线旋转电机系统
市场前景及应用领域
当前美国持续加强技术和设备封锁的情况下，半导体设备国产替代步伐正在加快。国内半导体产业快速成长、同时先进封装对设备要求不断提升。国产设备企业得力于国家政策和资金的大力支持，在贴装，键合，测试等多个领域不断取得突破。在性能和成本的驱动下，封装技术发展呈现两大趋势：微型化和集成化。基于封装技术的快速发展，封测设备也必然需要向着 高精度，高速度，模块化 的方向进化。高精度直线旋转电机作为核心零部件在半导体设备中占有重要地位。技术难度高，应用前景广阔。
合作方式：面谈
成果单位：深圳大学 机电与控制工程学院
成果负责人：潘剑飞
联系电话：0755-26535382
手机：13128877825
电子邮箱：pan_jian_fei@163.com
科研概况