作为中国的“硅谷”，粤港澳大湾区在高精尖科技产业的发展中一直扮演着排头兵的角色。近几年，高科技电子产品市场需求旺盛，在国家对于新材料、精密先进制造等领域的大力支持下，智能微电子器件如微机电系统、光电产业、生医工程以及光通讯等领域都展示出了前所未有的良好市场前景，是我市乃至粤港澳大湾区新的经济发展增长点之一。随着微电子器件及精密机械的高速发展，细微零件和产品的成形加工越来越重要，并且在当前结构、器件微型化的趋势下，人们对微型结构模芯的需求将不断增加。本项目针对现有微纳制造领域制备效率低、生产成本高的产业难题，以非晶态合金这种新型的金属材料为基础，开发新型的微模具材料和技术工艺及关键装备，提高微纳精密器件的制备效率、降低其生产成本，具有重要的经济意义和社会价值。
部分样品展示如下：
非晶合金PdNiCuP,在本装备上通过精密制造成型的纳米线结构，成型温度为210℃，压力10KN,从下图中我们可以看到该非晶合金上具有优异的纳米线形貌结构，表明本装备具有精密制造成型的能力。
非晶合金LaAlNiCuCo,在本装备上通过精密制造成型的纳米线结构，成型温度为310℃，压力15KN,从下图中我们可以看到该非晶合金上具有优异的纳米线形貌结构，表明本装备具有精密制造成型的能力。
技术创新
本项目针对现有微纳制造领域制备效率低、生产成本高的产业难题，以非晶态合金这种新型的金属材料为基础，开发新型的微模芯材料和技术工艺及关键装备，提高微纳精密器件的制备效率、降低其生产成本，具有重要的经济意义和社会价值。本项目具有以下优点：快速升温，控温稳定可靠，成型精度高，冷却速度快，结构紧凑，人机界面友好。
专利情况
申请号（授权号）： CN202010884952.X ;CN202010893909.X
市场前景及应用领域
智能微电子器件；微纳模芯；非晶态合金
合作方式：许可使用、股权投资、合作开发、合作创办企业、面谈
成果单位：深圳大学机电与控制工程学院
成果负责人：马将
联系方式：15999527756
电子邮箱：majiang@szu.edu.cn
科研概况