连续镀膜生产线的进片室均采用粗抽泵+罗茨泵抽气,缓冲室采用分子泵抽气,为了确保分子泵正常运行,进片室必须抽至1~3Pa的高返油压强区段,不到1毫秒,进片室的待镀工件表面就会形成密布的油分子层,因此,随后的镀膜,实际上是在该油分子层上进行的,导致镀膜产品结合力低,膜层出现针孔等一系列问题。对于不能烘烤的待镀工件,其影响更大。

     本项成果采用工作压强高达200Pa的分子増压泵,取代缓冲室的传统分子泵,并将进片室工作压强升至100Pa,绕过了上述高返油区段,进片室的油蒸汽污染降至可检测值以下,攻克了上述难题。此外,进片室不再需要罗茨泵,节省设备费用和占地空间,并且抽气时间缩短,抽气能耗降低50%